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TeleStar探头

用于表面轮廓测量的独立离轴部分相干干涉距离传感器

TeleStar® Probe 是一种独立的离轴部分相干干涉测量范围传感器,用于表面轮廓测量。TeleStar Probe 提供亚微米分辨率,在镜面反射和光散射漫射表面上均具有出色的性能。该探头快速准确,每秒可快速扫描多达 500 个数据点,精度为 1.0 微米,重复性为 0.1 微米。

在 SmartScope ZIP 上,探头可以固定安装或安装在机械部署机构中,以便在不使用时将其收回。

此外,TeleStar Probe 可以配置在 FlexPoint 系统上的 VersaFlex™ 铰接式多传感器阵列中,从而在 CMM 上实现先进的干涉测量技术,这与业内其他任何产品都不一样。

P-25 TeleStar Probe 提供适用于不同应用的可互换物镜和高达 70 mm 的恒定工作距离。
扫描头 波长 (纳米) 工作距离 (毫米) 近场视场 (厘米) 远场视场 (厘米) 整张尺寸 (毫米) 中场光斑距 (微米) 最小扫描速度 (点/秒) 最大扫描速度 (点/秒)
SG108 405 (蓝色) 105 55 95 100 30 155,000 1,500,000+
SG198 405 (蓝色) 125 90 170 165 50 155,000 1,500,000+
SG508 405 (蓝色) 270 160 380 490 104 155,000 1,500,000+